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피코앤테라, 공정 환경 제어용 웨이퍼 세정 장치 전시

국내외 반도체 장비 제조사에 다양한 장비 제조 납품

기사입력 2016-09-08 16:01
(왼쪽부터) 피코앤테라(주) 우범제 대표이사, 김선호 차장


피코앤테라는 반도체 공정 전후 웨이퍼의 공정 환경을 제어하는 장비를 개발하는 등 새로운 기술 분야를 개척하는 기업이다. 기술개발과 끊임없는 연구를 통해 세계 최고의 반도체 생산 공정 장치를 제공하는 것을 목표로 삼고 있다.

피코앤테라가 이번 KOFAS2016에 전시한 주력 제품은 Fume Free System이라는 반도체 제조업체에서 사용하는 웨이퍼 세정 장치이다. 반도체 제조공정에서 발생하는 오염과 이상 반응에 따른 제조 공정 환경을 제어할 수 있어 수율 문제를 효과적으로 개선했다.



공정 장비로는 최소 Foot Print를 차지하며, 공정 후 발생되는 오염물질에 의한 문제점을 최소화 해주는 제품으로 웨이퍼 뿐만 아니라 주변 장비의 수명을 연장시켜 장비 관리에도 도움을 준다. 현재 국내외 반도체 장비 제조사에 다양한 모델을 제조 납품하고 있으며, 해외에도 꾸준한 영업을 진행하고 있다.

피코앤테라는 최근 한국산업기술진흥협회에서 주관하는 장영실상을 수상하였으며, 전 세계적인 유통망을 확보하기 위해 해외 영업에 만전을 기하고 있다.

한편, 피코앤테라 우범제 대표이사는 산업통상자원부에서 주최하고 한국기계산업진흥회에서 주관하는 '2016년도 우수자본재 개발유공자 포상식'에서 반도체 웨이퍼 잔류가스 제거장치 개발로 국산 장비의 우수성을 입증하고, 반도체 업계의 생산성 증진에 기여한 공로를 인정받아 수상의 영광을 안았다.

출품제품

보증

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◎ 일반제품보증 ◎ 인증제품보증 ◎ 뿌리산업보증

Air Filtro 7

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당사의 제품은 몇십년전 기술인 원심분리 방식이 아닌 난류포집형 방식으로써 최대 20번의 와류를 일으켜 포집하는 방식을 채택하고 있습니다. 이는 어느 한쪽에 치우치지 않고 전체적으로 오염된 공기를 포집하여 필터의 교환주기를 늘려주었습니다 본체 내 압력 손실을 최소화한 설계로 저전력 모터 사용으로도 높은 흡인력을 유지하고 있습니다. 전기료가 절감됩니다.

Mechanical Seal

Mechanical Seal
이 타입은 Multi-spring type으로써 single spring type 대비 고속 회전에서 사용할 수 있습니다. 또한 여러 개의 spring이 동시에 작용 하므로 seal face의 면압이 균일하게 유지할 수 있습니다. 그러나 spring 선경이 가늘으므로 slurry에 사용하기엔 부적합 할 수 있습니다.

파이버레이저마킹기

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1. 간편한 설치 및 이동 용이성 제고 2. Galvano Scanning System에 의하여 기존방식보다 3~4배 빠른 초고속 마킹 3. 신뢰성 높은 Laser Source를 사용하여 수명을 극대화 (100,000시간) 4. 고 단위 전기, 광 변환효율 제고에 의하여 저렴한 유지 관리 기능
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