대표자 | 홈페이지 | http://www.picoandtera.com/ | |
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주소 | 경기도 수원시 영통구 덕영대로 1556번길 16(영통동) 디지털엠파이어 빌딩 B동 1002호 | 부스번호 | 5A-055 |
전화번호 | 031-303-5757-8 | 전시품목 | New Fume Free System, Humidity Control EFEM, New Purge LoadPorts, New 3D Purge Foup, Power Free Airamplifier |
피코앤테라
반도체 제조 공정에 의한 부산물 발생을 억제 하는 방법으로 공정을 끝낸 웨이퍼 마다 불활성 가스를 분사하여 공정 잔류 가스와 대기 가스의 접촉을 최소화 하고 웨이퍼 상의 주변 가스들을 흡입하여 독성 잔류 가스와 부산물들이 웨이퍼와 주변 장비들을 부식 시키는 것을 방지함으로써 불량 발생 확률을 낮춰 웨이퍼 생산성 뿐만 아니라 장비 관리성에도 그 영향성을 보여줍니다.